
EP 2 957 857 A2
(12) DEMANDE DE BREVET EUROPEEN
(43) Date de publication:
23.12.2015 Bulletin 2015/52
(21) Numéro de dépôt: 15172151.1
(22) Date de dépôt: 15.06.2015
(51) Int Cl.:
G01B 11/06 (2006.01) G01B 21/08 (2006.01)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB
GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO
PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d’extension désignés:
BA ME
Etats de validation désignés:
MA: 19.06.2014 FR 1455650
) Demandeur: Ponçot, Jan-Claude
25000 Besancon (FR)
(72) Inventeur: PONÇOT, Jean-Claude
25000 BESANÇON (FR)
DISPOSITIF DE MESURE D’UN ENSEMBLE DE DONNEES SPATIALES D’EPAISSEUR D(X,Y)
D’UNE COUCHE MINCE ET PROCEDE DE MESURE UTILISANT LEDIT DISPOSITIF
(57) L’invention a pour objet un dispositif de mesure
d’un ensemble de données spatiales d’épaisseur d(x,y)
d’une couche mince comprise dans un ensemble de couche(
EP 2 957 857 A2
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(43) Date de publication:
23.12.2015 Bulletin 2015/52
(21) Numéro de dépôt: 15172151.1
(22) Date de dépôt: 15.06.2015
(51) Int Cl.:
G01B 11/06 (2006.01) G01B 21/08 (2006.01)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB
GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO
PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d’extension désignés:
BA ME
Etats de validation désignés:
MA: 19.06.2014 FR 1455650
) Demandeur: Ponçot, Jan-Claude
25000 Besancon (FR)
(72) Inventeur: PONÇOT, Jean-Claude
25000 BESANÇON (FR)
DISPOSITIF DE MESURE D’UN ENSEMBLE DE DONNEES SPATIALES D’EPAISSEUR D(X,Y)
D’UNE COUCHE MINCE ET PROCEDE DE MESURE UTILISANT LEDIT DISPOSITIF
(57) L’invention a pour objet un dispositif de mesure
d’un ensemble de données spatiales d’épaisseur d(x,y)
d’une couche mince comprise dans un ensemble de couche(
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